名称8寸半导体晶片,蓝宝石单工位甩干机 | 货号DSG02 |
产品用途用于硅圆片、LED硅片、太阳能电池等其他类似材料的高洁净度冲洗甩干 | 品牌奥曼特 |
技术参数
型号 dsg02
工作腔数量 1
硅片规格 mm 8”
旋转速度 r/min 300-2800
氮气压力 mpa 0.3
去离子水压力 mpa 0.3
外型尺寸(长x宽x高)mm 850x460x1540
电源功率 kw 1.8
电压 / 频率 ac380v 50hz
结构特点
1. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用超纯材料。
2. 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢,并且表面电化学抛光处理。
3. 工作腔加热和氮气温度控制。
4. 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5. 采用plc和触摸屏控制,整个过程智能化。
6. 伺服电机驱动。
7. 具有工艺菜单功能。
无锡奥曼特科技有限公司
李先生
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